Евгений Горнев выступил с открытой лекцией

В Самарском университете им. Королёва с открытой лекцией выступил член-корреспондент Российской академии наук Евгений Горнев. Его лекция была посвящена современному состоянию и тенденциям развития микроэлектроники. Также Евгений Горнев принял участие в круглом столе с молодыми учеными и познакомился с деятельностью студенческих технических клубов университета.

Справочно:

Евгений Горнев - российский учёный, специалист в области микро- и наноэлектроники, метрологического обеспечения измерений длины в микрометровом и нанометровом диапазонах. Доктор технических наук, профессор, член-корреспондент РАН, лауреат Государственной премии СССР и премии Правительства РФ в области науки и техники (дважды).Заместитель заведующего базовой кафедры «микро- и наноэлектроника» в МФТИ.

Заместитель руководителя приоритетного технологического направления по электронным технологиям АО «НИИ молекулярной электроники». Автор и соавтор более 300 научных работ, из них 3-х учебных пособий, и 42 авторских свидетельств и/или патентов.

Основные достижения Евгения Горнева:

• обобщил, научно обосновал и разработал технические решения для создания современного микроэлектронного производства, на основе чего создал модель промышленной субмикронной технологии как системы и систему управления микроэлектронным производством;
• под его руководством и с его непосредственным участием разработаны решения многовариантной технологии КМОП, биполярных и БиКМОП на базе универсального маршрута, с достоинствами биполярных и КМОП микросхем;
• создана система управления на основе мониторинга техпроцесса, контроля дефектности и методов статрегулирования;
• исследованы, обоснованы и созданы методы контроля линейных размеров элементов СБИС микро- и нанометрового диапазонов с созданием универсальной линейной меры мирового уровня;
• создано, модернизировано и внедрено более 40 различных вариантов технологий, разработаны с одновременной постановкой на производство в процессе ОКР более 50 типов микросхем, модернизировано более 100 типов, организовано производство 87 серий микросхем, в том числе в Польше;
• разработана и освоена промышленная технология сегнетоэлектрических плёнок для микро- и наносистемной техники и изделий на их основе, изделий пьезотехники, акустоэлектроники, совместимых с технологиями микро- и наноэлектроники и МЭМС.